シリコンフォトニクス・ファウンダリサービス

シリコン光集積回路のプロトタイプ作製と小規模製造

テレコムやデータコム、センシングまで。多数のアプリケーションが受動/能動素子を一つのチップ上に組み合わせるシリコンフォトニクス技術を使った集積回路の恩恵を享受することを待ち望んでいます。
Imec社のSOIベース集積シリコンフォトニクスプラットフォーム(iSiPP)は、このような光集積回路(PIC)を開発するためのツールを提供します。iSiPPプラットフォームは多種多様な受動/能動部品を統合し、短距離光インターコネクト用の競争力のあるフォトニック集積回路を可能にします。
また、マルチプロジェクトウェハー(MPW)あるいはシェアードランを通じて、他の設計者とコストを共有することで、これらPICの少量バッチを手ごろな価格で製造することができます。

MPWまたは共有ランによる手ごろな価格でのプロトタイプ作製と少量生産

少量のシリコン光集積回路に手軽にアクセスできるよう、Imec.IC-linkはマルチプロジェクトウェハー(MPW)サービスを提供しています。そこでは、マスキングとプロセス費用を他の設計者と共有することができます。

現在、imec社ではMPWのお客様に以下の技術を提供しています:

  • iSiPP50G:
    200mm(8インチ)の簡略化されたプラットフォーム/フローでは、データ転送レート25または50Gb/sの広範囲な光トランシーバアーキテクチャをサポートする様々な受動/能動部品を実装します。提供される集積回路部品には、低損失導波路、高効率な垂直方向グレーティングまたは広帯域エッジカプラ、高速シリコンEO変調器、高速シリコンゲルマニウム電気吸収変調器と高速ゲルマニウム導波路フォトディテクタが含まれます。iSiPP50Gは最先端の性能、設計の柔軟性、優れた臨界寸法および厚み制御を提供します。これらは検証済みデバイスライブラリを含む固定プロセス技術(130nm) です。
  • Imec Si-フォトニクスパッシブ+ :
    200nm(8インチ)の簡略化されたプラットフォーム/フロー。こちらはSiPP50Gテクノロジーのサブセットになります。

プロトタイピングサービス:iSiPP50G(アクティブ)及びパッシブ+

  • アクセスモデル:MPW
  • 機能:基本(23モジュール)
  • 納品数:
      • 1ブロック(5.15mm x 5.15mm)以上の場合は20個
      • ハーフブロックまたは1/4ブロックの場合は10個
  • ランのタイミング:固定(iSiPP50G:年に2回、パッシブ+:年に1回)
  • 最小面積:1/4ブロック(2.5mm x 2.5mm)
  • 計測/テスト:標準テスト
  • カスタマイズ:限定的(空き状況により)
  • 費用分担:マスクとプロセス

主要技術のパラメータ

  • 基板:220nm Si /2000nmBOXを備えたSOI
  • 193nmリソグラフィーによる3-レベルSiおよび1-レベルPoly-Siパターニング
  • 6-レベルのSiシリコンドーピングと2-レベルのGeドーピング
  • Ge-on-Si 遠隔プラズマ励起化学蒸着(RPCVD)エピタキシー
  • 2-レベルのCu相互接続+Alボンドパッド
  • エッジカップリング用のSi深堀エッチング

利用可能なデバイス

  • 進行波マッハツェンダーPN変調器
  • Ge(Si)電気吸収変調器
  • マイクロリング型PN変調器
  • 導波路型Ge-on-Si検出器
  • ファイバーカップリング:
    • 垂直型回折格子
    • Cバンド端面カプラー
  • フィルターなどの導波路型受動素子
  • 超小型ヒーター

iSiPP50Gデザインキット

ユーザーがアクセスできるように、拡張iSiPP50Gプロセスデザインキット(PDK)を提供します。本キットにはプロセスのドキュメント、ライブラリの性能、カスタムレイアウト時のガイドライン、設計と検証方法のルールが含まれています。本PDKはシリコンフォトニクス設計キットライセンス契約(DKLA)に署名すると利用可能になります。

さらに柔軟性を求めるなら

また、カスタマイズの機会を増やすために、少量または中量の専用ランを提供しています。詳しくはお問い合わせください。

シリコンフォトニクス専用ファウンダリについて

LightBridgeは、Imec社のシリコンフォトニクス専用ファウンドリとの提携により、シリコンフォトニクス集積回路のプロトタイプ作製および小規模製造を行うためのワンストップサービスを提供しています。高度な知識・専門性・能力を持つ私たちがお客様の成功をサポートいたします。フォトニクスに関してお困りごとがございましたら、是非ご相談ください。